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据必联网发布的中标结果公告显示，2月28日，万业企业旗下嘉芯迦能(嘉芯半导体的子公司)的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)成功中标某公司特色工艺生产线建设招标项目。
另据资料显示，自2022下半年开始，万业企业旗下嘉芯半导体的多款半导体设备多次成功中标项目，包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积、二氧化硅等离子薄膜沉积设备以及铝铜金属溅射设备(PVD)等。
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